碳化硅材料具有高硬度、高耐磨性和耐化學腐蝕性。在高溫下性能穩(wěn)定，熱傳導率好，屬于高溫結構材料。
碳化硅主要特征
1.高硬度
2.高導熱性?
3.高溫下機械性能穩(wěn)定?
4.耐化學腐蝕性?
5.無磁?
碳化硅陶瓷的主要應用
1.耐磨件?
2.密封件?
3.半導體設備部件?
4.高溫部件?
碳化硅陶瓷的機械性能
| 序號 | 機械性能 | 單位 | 參數? | ||||||||||||||
| 1 | 體積密度? | g/cm3 | 3.1 | ||||||||||||||
| 2 | 顯氣孔率%? | / | ≤0.15 | ||||||||||||||
| 3 | 硬度? | HRA | ≥92 | ||||||||||||||
| 4 | 彎曲強度? | MPa. | ≥470 | ||||||||||||||
| 5 | 彈性模量? | GPa. | ≥410 | ||||||||||||||
| 6 | 斷裂韌性 | MPa.M1/2 | ≥3.5 | ||||||||||||||
| 7 | 熱膨脹系數 | 1X10-6/℃ | 4 | ||||||||||||||
| 8 | 碳化硅含量 %? | / | ≥98% | ||||||||||||||
| 9 | 游離硅含量 % | / | 無? | ||||||||||||||
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